GB/T4844-2011 純氦、高純氦和超純氦
GB/T 16943-2009電子工業用氣體 氦
GB/T 28123-2011工業氦
GB/T4844-2011 純氦、高純氦和超純氦技術指標
項目 | 指標 |
純氦 | 高純氦 | 超純氦 |
氦氣（He）純度（體積分數）/10-2 | ≥ | 99.99 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
氖氣（Ne）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 40 | 15 | 4 | 1 |
氫氣（H2）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 7 | 3 | 1 | 0.1 |
（氧氣（O2）+氬（Ar））含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 5 | 3 | 1 | 0.1 |
氮氣（N2）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 25 | 10 | 2 | 0.1 |
一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
甲烷（CH4）含量（體積分數）/10-2 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
水分（H2O）含量（體積分數）/10-2 | ＜ | 20 | 10 | 3 | 0.2 |
總雜質含量（體積分數）/10-2 | ≤ | 100 | 50 | 10 | 1 |
GB/T 16943-2009電子工業用氣體 氦技術指標
項目 | 指標 |
氦氣（He）純度（體積分數）/10-2 | ≥ | 99.9999 | 99.9995 |
一氧化碳（CO）和二氧化碳（CO2）總含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 一氧化碳：0.1 | 1 |
二氧化碳：0.1 |
氮（N2）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
氧（O2）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 0.2 | 0.5 |
總烴（以甲烷計）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 0.1 | 0.5 |
水分（H2O）含量（體積分數）/10-6 | ＜ | 0.2 | 0.5 |
雜質總含量（體積分數）/10-6 | ≤ | 1 | 5 |
顆粒 |
| 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
液態氦的水分應氣化后測定。 |
GB/T 28123-2011工業氦技術指標
項目 | 指標 |
氦氣純度（體積分數）/10-2 | ≥ | 97.5 | 99 |
總雜質（氖+氫、氧+氬、氮、甲烷）含量（體積分數）/10-2 | ≤ | 2.5 | 1 |
水分露點/℃ | ≤ | -50 | -50 |